某半导集成ic生产生产制造厂在晶圆生产制造方式中，应用硅烷做好硅本质生张，废气洗條塔产生高盐浓度含硅生产生活污水。生产生活污水具备pH动荡大（2-11）、硅成分高的基本特征，传统型处置的办法易存在硅垢短路情况。 污废水 物质及源 生活污水基本基本成分为： 水解性硅酸盐 ：SiO₂含量达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢脱色钠 ：清洗塔碱酸清洗液无残留 顆粒硅 ：纳米级级SiO₂固体 痕量砷 ：原材料溶物进入 处置工艺技术的流程 多元化所采用"多级结合+膜过滤水+蒸发掉心得"工序： 特级与 ：用CaO调高pH至4-5，导出硅酸钙奠定，硅弄掉率60%。 两级采和 ：加Na₂CO₃将pH增加至9，进步骤乳浊液用不完硅，电容串联用镁剂除砷。 超滤膜系统化 ：0.02μm瓷砖膜过滤器納米级硅颗粒状，通量平稳在80LMH。 MVR汽化器 ：沉淀高盐废水处理方法，析出出Na₂SO₄副厂品，水回收利用率超90%。 最中郊果 总硅从1500mg/L降落到5mg/L一下 砷含铁从0.8mg/L低于0.01mg/L 系统无结渣运动低于2年 去年回收公司盐酸钠纳米线约800吨